這是專為半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)的精密光學(xué)儀器，用于測(cè)量液滴在晶圓表面的接觸角，評(píng)估潤(rùn)濕性、清潔度與表面能，是光刻、清洗、鍵合工藝的質(zhì)控核心。

核心原理

基于楊氏方程，用納升/微升注射泵滴加去離子水/乙二醇；高速工業(yè)相機(jī)+顯微光學(xué)系統(tǒng)捕獲液滴輪廓；軟件通過(guò)圓/橢圓/切線法計(jì)算角度；θ<90°親水，θ>90°疏水。

關(guān)鍵結(jié)構(gòu)與功能

1. 晶圓專用樣品臺(tái)：真空吸附固定，支持6–12英寸（300mm），可360°旋轉(zhuǎn)+XY矩陣多點(diǎn)（幾十點(diǎn)位）自動(dòng)測(cè)量

2. 高精度滴液系統(tǒng)：最小液滴0.2μL甚至nL級(jí)，防污染可拋針頭

3. 光學(xué)與算法：冷光源避免蒸發(fā)，測(cè)量精度±0.1°~±0.2°，支持靜態(tài)/動(dòng)態(tài)（前進(jìn)/后退角）、表面自由能計(jì)算

4. 潔凈環(huán)境兼容：部分機(jī)型可配氮?dú)馐痔紫?Class 100級(jí)潔凈室適配

典型應(yīng)用場(chǎng)景

- 清洗工藝驗(yàn)證（去除有機(jī)物/顆粒后接觸角應(yīng)顯著下降）

- 光刻膠涂布前表面處理（親水/疏水調(diào)控保證涂覆均勻）

- 晶圓鍵合、薄膜沉積的表面質(zhì)量監(jiān)控

- 研發(fā)中表面改性（等離子體、UV、自組裝膜）效果評(píng)估

設(shè)備特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

軟件研發(fā)：軟件硬件自主研發(fā)，與華南理工深度合作，深度客制化。

測(cè)量精度：具備雙邊接觸角測(cè)量快速擬合功能，更全面量分析液體與固體的表面潤(rùn)濕性能，更準(zhǔn)確的分析表面的實(shí)際潤(rùn)濕情況。

動(dòng)態(tài)接觸角：批量截圖擬合、視頻連續(xù)自動(dòng)擬合、自動(dòng)在線實(shí)時(shí)擬合。